MEMS

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)는 기계요소 부품, 센서, 엑츄에이터, 전자회로를 하나의 실리콘 기판위에 집적화한 디바이스를 말한다.

프로세스 상 제약이나 재료의 다름에 의한 기계 구조와 전자 회로가 따로 칩이 되는 경우가 있지만 이와 같이 하이브리드의 경우에도 MEMS라고 한다.

주요부분은 반도체 집적 회로 제작 기술을 이용하여 제작되지만 반도체 집적 회로는 평면 가공을 하는 프로세스로 제작되는 것에 반해 입체형상을 형성할 필요가 있어 반도체 집적 회로의 제작에는 사용되지않는 희생층 에칭이라고 불리우는 가동구조를 제작하는 프로세스가 포함된다.

현제 제품으로서 시판되어지는 것은 잉크젯 프린터 헤드, 압력 센서, 가속도 센서, 쟈이로스코프, DMD(프로젝터)등이 있다.

시장 규모도 확대되고 있으면 응용 분야도 여러분야에 걸쳐 있음으로 기대되는 시장이 크다. 그렇기 때문에 제2의 DRAM이라고도 불리운다.